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馬爾粗糙度輪廓儀LD 260

  

  

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產品特點 :

l  高速移動和定位

l  130mm/260mm長測量行程以及大測頭測量范圍

l  創新測針系統以及仿生學測臂設計

l  磁性的測臂夾持裝置和測臂識別裝置

l  粗糙度和輪廓度二合一

l  基于友好服務理念的模塊化設計

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技術參數:

水平軸的特征:

?  行程長度(Lt)0. mm to 260 mm

?  定位速度:0.02 mm/s  200 mm/s

?  測量速度:0.02 mm/s  10 mm/s; 粗糙度測量 推薦速度0.1 mm/s0.5 mm/s

?  X方向取樣間距:0.05 μm30 μm,可調整

?  每次測量最多測量點:5200000

?  分辨率:0.8 nm

?  X軸測量的不確定度:± (0.2+l/1000) μm; l 單位 mm

測頭系統特征:

?  測頭測量范圍:26 mm (200 mm測臂)

?  分辨率:0.8mm

?  測量力:0.5 mN to 30 mN, 可通過軟件設置

殘余誤差 Rz0, Rq0

?  vt = 0.1 mm / s時的殘余誤差:Rz0 20 nm  Rq0 1 nm, typical

輪廓:

?  距離測量顯示誤差:± (1.0+l / 150) μm; l 單位 mm

?  半徑測量顯示誤差:(R  10 mm) ± 1 μm (10 mm < R  300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) μm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) μm                                                     

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時間:2021/6/3 9:56:58
來源:http://www.zhgtech.cn/
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